在生產(chǎn)過程中，大型真空噴涂設(shè)備包括大量目標(biāo)，大量電源，電源與目標(biāo)之間的大量電纜，以及電纜發(fā)現(xiàn)在線盒中。而，目標(biāo)更換周期在短時(shí)間內(nèi)是緊密的，并且工人將不可避免地在噴射供給源和陰極之間磨損冠部。旦噴涂進(jìn)料和陰極表冠磨損，就會(huì)有一定的安全風(fēng)險(xiǎn)。了避免這些隱藏的錯(cuò)誤并避免隱患，可以使用具有自動(dòng)感應(yīng)功能的噴涂電纜是必要的?？貫R射;濺射電源;目標(biāo)（陰極）; PLC;人機(jī)界面中圖分類號(hào)：TP307文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼：A文章編號(hào)：1009-2374（2014）04-0045-02磁控濺射原理磁控濺射的原理是電子與原子原子碰撞。氣在電場E的作用下飛向基板，迫使它們電離產(chǎn)生Ar陽離子和新電子，新電子飛向基板。Ar離子在電場的作用下加速到陰極靶并以高能量轟擊靶的表面以引起靶的濺射。粉碎的顆粒中，中性靶原子或分子沉積在基板上以形成薄膜，并且所產(chǎn)生的二次電子經(jīng)受電場和磁場以產(chǎn)生由E表示的定向漂移（場電氣）×B（磁場）。E×B，其運(yùn)動(dòng)路徑類似于擺線。環(huán)形磁場的情況下，電子在大約擺線形狀的目標(biāo)表面上進(jìn)行圓周運(yùn)動(dòng)，它們的軌跡不僅很長，而且還被困在目標(biāo)表面附近的等離子體區(qū)域中。在這個(gè)地區(qū)電離很多。Ar轟炸目標(biāo)以實(shí)現(xiàn)高存款率。著碰撞次數(shù)的增加，二次電子的能量耗盡，逐漸遠(yuǎn)離目標(biāo)表面移動(dòng)，并最終在電場E的作用下沉積在基板上。于電子的能量非常小，傳遞到基板的能量很低，這導(dǎo)致基板在低溫下上升。
　　控濺射是入射粒子與靶之間碰撞的過程。射粒子在靶中經(jīng)歷復(fù)雜的擴(kuò)散過程，與靶原子碰撞并將一部分動(dòng)量傳遞到靶原子，礦用電纜然后靶原子與其他靶原子碰撞形成靶原子。聯(lián)過程。這個(gè)級(jí)聯(lián)期間，靠近表面的一些目標(biāo)原子獲得足夠的動(dòng)量以向外移動(dòng)并且目標(biāo)被投射。造電纜的需要根據(jù)磁控濺射的原理，在濺射過程中必須存在電場，因此用于為濺射提供電場的電源是必不可少的，并且由于不同的工藝要求，有許多類型的電源。直流電，脈動(dòng)直流電和交流電。
　　于不同公司的權(quán)力不同，本文僅使用公司的直流電源。大輸出功率為30 kW，開路電壓為800 V，輸出電纜的截面積為50平方毫米。濺射工藝中，首先通過電纜連接DC電源和陰極靶。于目標(biāo)和設(shè)備是隔離的并且設(shè)備具有可靠的接地，因此DC電源的正極可以直接連接到設(shè)備，陰極連接到目標(biāo)的端子。

　　于在生產(chǎn)過程中不需要移動(dòng)設(shè)備，因此可以一次直接連接陽極。于目標(biāo)是要更換的消耗品，電源的輸出功率越高，目標(biāo)的更換越長，電源的負(fù)極越低。于生產(chǎn)過程中的工藝要求，設(shè)備上有幾個(gè)目標(biāo)和幾個(gè)目標(biāo)。時(shí)，有幾種不同類型的電源：在這種情況下，單電源和單陰極之間沒有必要的接線關(guān)系，這只是一個(gè)問題。據(jù)工藝要求和當(dāng)時(shí)的實(shí)際情況建立臨時(shí)布線關(guān)系。線方法根據(jù)工藝要求而有所不同。時(shí)，由于生產(chǎn)任務(wù)的要求，這種布線可能不會(huì)浪費(fèi)太多時(shí)間。則，效率太低，因此高電流連接器用于生產(chǎn)。電流連接器的使用提高了布線效率并增加了能量的使用，但也增加了一些隱患。電流連接器是電源插座，需要固定公母連接器以允許連接電纜。此，通過簡單地將連接器的公連接器和母連接器連接到目標(biāo)端子和電源的負(fù)端子，可以隨時(shí)更換電源和目標(biāo)之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系。
　　于電纜數(shù)量眾多，即使標(biāo)記清晰，也不可避免地導(dǎo)致佩戴表冠的錯(cuò)誤。旦張冠李岱的錯(cuò)誤，最直接的是設(shè)備不能正常生產(chǎn)，其次，存在安全隱患。果濺射電源的輸出線連接到錯(cuò)誤的目標(biāo)，如果沒有及時(shí)發(fā)現(xiàn)目標(biāo)，則可能損壞目標(biāo)。果濺射饋線沒有連接到目標(biāo)，一旦激活濺射饋電，負(fù)極接線插頭和裝置之間就有800 V電壓。避免此類錯(cuò)誤，需要使用可自行檢測的噴射電纜。檢噴霧電纜有兩種制造方式：接地可防止噴涂電纜的電擊被劃傷或老化。
　　果編織層具有足夠的截面，則它也可以用作進(jìn)料的陽極。于中頻交流電源和安全可靠的接地至關(guān)重要.3?？s套管不僅是一個(gè)絕緣層，它還整體形成噴射電纜，允許區(qū)分陰極的末端;該層的多導(dǎo)線，即編碼線。芯線的導(dǎo)體數(shù)量可取決于陰極的數(shù)量。

　　2線導(dǎo)體的數(shù)量> =陰極數(shù) 1。碼線的接線如下：這里是9針D型插頭（插頭的類型可以根據(jù)編碼電纜的線數(shù)確定，例如15針或25針D型等等）輸入類型IO響亮。述的例子。插座的引腳1連接到公共端子和24V電源（如果輸入/輸出輸入為低電平有效，則引腳1連接到GND）。母插頭的引腳2至8連接到為控制器定義的入口點(diǎn)。頭的引腳1是公共端，引腳2到8是一個(gè)字節(jié)的最高位，插頭對(duì)應(yīng)的目標(biāo)號(hào)轉(zhuǎn)換為二進(jìn)制代碼，二進(jìn)制代碼對(duì)應(yīng)的引腳為1短 - 帶有1號(hào)針腳的電路。過讀取由母插頭的針腳2到8組成的代碼，可以知道對(duì)應(yīng)于噴射電纜的陰極數(shù)量。體步驟如下：（1）根據(jù)濺射源的需要完成濺射饋線的饋線，（2）將串行編碼電纜的公共端連接到輔助觸點(diǎn)直流電源的交流接觸器和交流輔助觸點(diǎn)連接只有在電纜打開后才能使用入口點(diǎn)接入點(diǎn)，電纜中存在24 V的電壓并且可以知道濺射進(jìn)料已經(jīng)進(jìn)料。里以電源線中的交流接觸器為例。果沒有AC觸點(diǎn)，只需訪問24V; （3）根據(jù)目標(biāo)編號(hào)焊接相應(yīng)的插頭，并將插頭固定在陰極上; （4）將連接母插頭的2至8針連接至PLC輸入點(diǎn)。于I / O定義，最好將引腳2連接到輸入字節(jié)的零位以用于計(jì)算目的。這里，我們以西門子PLC為例，如I0.0或I10.0等，以便可以直接讀取字節(jié); （5）連接直流電源和陰極之間的接線。旦硬件接線然后重新打開，PLC系統(tǒng)必須為必須逐個(gè)打開的噴涂電源供電，并檢測相應(yīng)的陰極編號(hào)。果在人機(jī)界面中預(yù)先引入了濺射電源與工藝所需的陰極之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系，則系統(tǒng)在發(fā)現(xiàn)相應(yīng)的關(guān)系誤差時(shí)會(huì)發(fā)出警報(bào)。需要等待濺射進(jìn)料被激活。發(fā)現(xiàn)接線錯(cuò)誤。如：假設(shè)PLC是Siemens 300系列，陰極編號(hào)為1.通過觸摸屏輸入的陰極數(shù)存儲(chǔ)在控制器的DB1.DBW0中（DB1.DBW0：注冊地址）在西門子300系列PLC中，一個(gè)字長，帶斷電功能）。
　　應(yīng)于第8點(diǎn)的第2點(diǎn)的IO點(diǎn)在I0.0和I0.7之間。編碼電纜讀取的陰極數(shù)存儲(chǔ)在PLC的DB1.DBW2中并顯示在觸摸屏上。射電源的交流接觸器具有I1.0的提醒信號(hào)。

　　警的退出點(diǎn)為Q0.0。視程序如下：西門子STEP7中的“//”表示本文中使用的注釋，用于簡要說明程序的作用。上所述，本發(fā)明所述方法的自制噴涂電纜完成了噴涂供料源與陰極之間的自動(dòng)監(jiān)控，結(jié)構(gòu)簡單，實(shí)用，易于使用。單的監(jiān)控軟件，從而避免了人為錯(cuò)誤造成的隱患。
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